[发明专利]结合固定或者旋转靶的阴极与移动磁体组件的组合及其应用无效
| 申请号： | 200680039595.5 | 申请日： | 2006-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101297059A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 迪安·普莱斯特德;艾伦·普莱斯特德 | 申请（专利权）人： | 索莱拉斯有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 颜涛;郑霞 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 溅射阴极设备，其具有固定的或者可围绕其中心轴旋转的空心圆柱状溅射靶以及在溅射靶内轴向旋转的内部磁体组件。 | ||
| 搜索关键词： | 结合 固定 或者 旋转 阴极 移动 磁体 组件 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种溅射阴极设备，包括：固定的或者可围绕其中心轴旋转的空心圆柱状溅射靶；和可以在所述溅射靶内轴向旋转的内部磁体组件。
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