[发明专利]具有管芯接口层的塑料封装器件有效
申请号: | 200680039798.4 | 申请日: | 2006-10-18 |
公开(公告)号: | CN101517718A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 布赖恩·W·孔迪耶;马赫什·K·沙阿 | 申请(专利权)人: | 飞思卡尔半导体公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/50;H01L23/28;H01L23/29 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 穆德骏;黄启行 |
地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供了用于塑料封装半导体器件的结构的方法,该塑料封装半导体器件具有低介电常数和/或损耗因数的材料,其将管芯表面同塑料封装隔开。具有基本上完成的SC管芯(42)的半导体晶片涂覆有缓冲层(52)。对缓冲层构图以使管芯接合焊盘(44)暴露但是留下某些或所有其他管芯金属上面的缓冲层。然后使管芯分离,将管芯安装在引线框或其他支撑物上,将管芯导线接合或另外耦合到外部引线,并且封装管芯。塑料封装(47)围绕管芯和缓冲层,提供坚固的结构。缓冲层减少了管芯上的金属化区域之间的寄生电容、串扰和损耗。在缓冲层和塑料封装之间的晶片阶段中还可以提供可选的密封层,以减轻任何缓冲层孔隙度。 | ||
搜索关键词: | 具有 管芯 接口 塑料 封装 器件 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括:支撑部件;半导体管芯,其具有面向外的管芯表面,所述管芯表面上具有一个或多个电导体,其中所述面向外的管芯表面由侧表面横向终止并且所述管芯安装在部分支撑部件上;塑料封装,其具有介电常数∈e和损耗因数δe,其封闭至少部分支撑部件和管芯;和缓冲层,其介电常数∈b1和/或损耗因数δb1分别低于塑料封装的∈e和δe,其位于塑料封装和面向外的管芯表面之间,并且覆盖某些或所有的一个或多个电导体,但是基本上未覆盖侧表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造