[发明专利]沉积有机化合物的设备和方法以及具有该设备的基底处理装置有效
| 申请号： | 200680041455.1 | 申请日： | 2006-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN101341275A | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | 卢一镐;崔硕珉;郑领哲 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 苗征;于辉 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了沉积有机化合物的设备，以在基底上沉积预定的有机膜。该设备包括沉积室、设置在沉积室内部并且支撑基底以使基底的沉积表面朝下的支撑构件、在其中安装有有机蒸发器以将有机化合物蒸镀到基底的沉积表面上的蒸发器安装部分，以及与蒸发器安装部分相邻设置的用以更换有机蒸发器的蒸发器更换部分。根据该设备，蒸发有机化合物的有机蒸发器自动更换。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 有机化合物 设备 方法 以及 具有 基底 处理 装置 | ||
【主权项】：
1、在基底上沉积有机化合物的设备，其包含：沉积室；设置在沉积室内部并且支撑基底以使基底的沉积表面朝下的支撑构件；蒸发器安装部分，在其中安装有有机蒸发器，以将有机化合物蒸镀到基底的沉积表面上；以及与蒸发器安装部分相邻设置的用以更换有机蒸发器的蒸发器更换部分。
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