[发明专利]与多元统计分析一起用于过程中的故障检测和隔离及异常情况预防的统计特征

摘要

一种用于监控加工厂中的过程并检测异常情况的系统和方法，其包括收集描述过程运行的数据、进行多元统计分析以基于一组收集的参考数据描述一已知状态下过程的运行，所述参考数据包括该已知状态下的过程运行的统计测量。该系统和方法可进一步包括基于一组监控数据来描述一未知状态下过程的运行，将多元统计分析的输出用作输入，并且比较该未知状态下的过程与该已知状态下的过程运行的多元统计描述来确定过程的运行状态，所述监控数据包括未知状态下的过程运行的统计测量。

主权项

1、一种用于监控加工厂中的过程的系统，该系统包括：数据收集工具，其适用于收集描述所述过程的运行的数据；以及第一分析工具，其包括多元统计分析机，该多元统计分析机适用于根据包括所述过程在已知状态下的运行的统计测量结果在内的一组收集参考数据来描述所述过程在所述已知状态下的运行。