[发明专利]一种用于控制辐射源功率的系统和方法无效
申请号: | 200680042512.8 | 申请日: | 2006-11-13 |
公开(公告)号: | CN101310333A | 公开(公告)日: | 2008-11-19 |
发明(设计)人: | 吴欣延 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | G11B7/125 | 分类号: | G11B7/125 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李静岚;刘红 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 用于控制辐射源功率的系统包括传感器FS、反馈网络FN和辐射源功率控制电路LPCC。传感器接收由辐射源LS生成的辐射束LBP的一部分并提供代表辐射源功率的模拟信号AFS。反馈网络FN连接至传感器FS。辐射源功率控制电路LPCC连接至反馈网络FN和辐射源LS。反馈网络包括扫描宽度补偿模块RCM,包括:基于模拟信号AFS提供数字信号DFS的采样模块SM,至少一个执行振幅补偿并提供至少一个数字误差控制信号ECS至辐射源功率控制电路LPCC以控制辐射源LS功率的误差控制信号生成器ECSG。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 控制 辐射源 功率 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种辐射源功率控制系统,包括:-传感器(FS),其接收由辐射源(LS)生成的辐射束(LBP)的一部分并提供代表辐射源功率的模拟信号(AFS),-连接至传感器(FS)的反馈网络(FN),-连接至反馈网络(FN)和辐射源(LS)的辐射源功率控制电路(LPCC),其中反馈网络(FN)包括扫描宽度补偿模块(RCM),包括,-采样模块(SM),基于代表辐射源功率的模拟信号(AFS)所述采样模块(SM)提供数字信号(DFS),-至少一个误差控制信号生成器(ECSG、ECSG1、ECSG2),其执行振幅补偿并提供至少一个数字误差控制信号(ECS)至辐射源功率控制电路(LPCC)以便控制辐射源(LS)的功率。
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