[发明专利]通过在气体介质中产生受控等离子体环境来增加粒子密度和能量的系统、设备和方法无效
| 申请号： | 200680043894.6 | 申请日： | 2006-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101322223A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·克莱斯勒·布伦南;L·斯图亚特·彭尼;矶久美子·希格曼 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·克莱斯勒·布伦南;SDI科技信托理事 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑小军 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种方法、设备和系统，通过将受控等离子体环境引入气体介质，克服气体介质中的空间电荷限制。本发明使用气体介质，向其提供能量，并产生电场，但是能够向电场提供若干数量级大小的能量而不会实质上将电场放电。通过增加等离子体密度、等离子体能量(以及等效的等离子体温度)和相关的粒子速度、或者上述参数的组合来部分地实现这种显著的能量提高。这种提高允许将电离能量用于迄今为止还未实现的实际应用。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 气体 介质 产生 受控 等离子体 环境 增加 粒子 密度 能量 系统 设备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种克服气体介质的空间电荷限制的方法，包括步骤：a.向气体介质中包含的粒子施加电磁辐射；以及b.向所述包含的粒子施加电场，而不通过电弧将所述电场放电，与没有向粒子施加电磁辐射时向粒子施加的电场相比，所述电场具有更高的空间电荷限制能力。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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