[发明专利]显影剂溶液及用法

摘要

本发明涉及显影剂溶液和用法。本发明公开了一种用于抗蚀剂的显影的改良组合物和方法。所述方法包括将显影剂溶液与光敏抗蚀剂接触，所述显影剂溶液包含碱度来源以及阳离子表面活性剂，该表面活性剂为乙氧基化和/或丙氧基化牛油脂肪胺。所述改良过的显影剂溶液能更有效地从抗蚀剂涂布的表面上除去未固化的抗蚀剂。

主权项

1.一种含水显影剂组合物，其包含：a.碱度来源；和b.下列结构所示的阳离子表面活性剂：其中：R₁＝脂肪酸基；R₂＝-H、-CH₂CH₂O-或-CH₂CH(CH₃)O-R₂＝-H；R₃＝-H、-CH₂CH₂O-或-CH₂CH(CH₃)O-；当x₂为0时R₄＝-H，当x₂不为0时R₄＝烷基、芳基或烷芳基；所有x₁总和＝总计为3～30的整数；所有x₂总和＝总计为0～15的整数。