[发明专利]自相关外差反射计及其实现方法有效
| 申请号： | 200680044391.0 | 申请日： | 2006-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101438126A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 阿兰·阿南斯·艾 | 申请（专利权）人： | 真实仪器公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龚燮英 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明贯注于一种用于根据外差光学信号获取高精确的相位偏移信息的自参考外差反射计系统和方法，不用一个参考晶片来校正。该自参考外差反射计在外差反射(HR)模式和自参考(SR)模式之间快速转换，其中在HR模式使用了包括以ω和ω+Δω的分离角频率极化的s和p极化光束分量的HR光束，在SR模式使用了包括以ω和ω+Δω的分离角频率极化的p极化光束分量的SR光束。当两个测量快速连续的进行时，假设检测器中的温度感应噪声对两个测量是相同的。从HR光束中产生一个测量相位偏移δRef/film，从SR光束中产生一个参考相位偏移δRef/Sub。从HR光束的差拍信号产生的测量相位偏移δRef/film用于薄膜厚度测量。SR光束是p极化的，不会从薄膜表面产生显著的反射，并且不会携带任何属于薄膜的相位信息。从SR光束的差拍信号产生的参考相位偏移δRef/Sub等同于使用参考样本得到的信息。然后从测量相位偏移δRef/film和与温度造成的相位偏移无关的参考相位偏移δRef/Sub得到薄膜相位偏移信息。从薄膜相位偏移信息计算得到薄膜厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 相关 外差 反射 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
1、一种测量厚度参数的方法，包括：测量一个外差相位偏移，包括：接收一个分离频率、双极化光束；从所述分离频率、双极化光束检测一个参考信号；传播所述分离频率、双极化光束到一个目标；从所述目标接收一个反射分离频率、双极化光束；从所述反射的分离频率、双极化光束检测一个测量信号；和测量所述参考信号和所述反射的分离频率、双极化光束的所述测量信号之间的一个相位差值；测量一个自参考相位偏移，包括：接收一个分离频率、p极化光束；从所述分离频率、p极化光束检测一个参考信号；传播所述分离频率、p极化光束到一个目标；从所述目标接收一个反射分离频率、p极化光束；从所述反射的分离频率、p极化光束检测一个第二测量信号；和测量所述参考信号和所述分离频率、p极化光束的所述测量信号之间的一个自参考相位差值；用所述自参考相位差值校正所述目标的相位差值。
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