[发明专利]真圆度测量装置及测量端子好坏的判定方法无效
| 申请号： | 200680045274.6 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN101322006A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 榎本雅人;沢藤进 | 申请（专利权）人： | 东京精密股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春嫒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 目的是实现改善偏心时的测量精度的真圆度测量装置。真圆度测量装置具备载物台1；具有球状端部，可在包含载物台的转动轴的第1平面内位移，与被测物的表面接触位移的测量端子11；检出测量端子的位移，输出测量数据的测头12－14；处理测量数据的处理控制部15，处理控制部对由于被测物的中心与载物台的转动中心的偏心而使被测物的表面与测量端子的接触位置在第1平面内的偏移进行修正，算出真圆度，处理控制部算出由于偏心而使接触位置在第1平面的垂直方向上的偏移，对由于算出的偏移而使接触位置在第1平面内的偏移进行修正，算出真圆度。 | ||
| 搜索关键词： | 真圆 测量 装置 端子 好坏 判定 方法 | ||
【主权项】：
1.真圆度测量装置，具备装载转动具有圆形截面的被测物的载物台；具有球状的端部，可在含上述载物台的转动轴的第1平面内位移，与装载在上述载物台上的上述被测物的表面接触，随着上述被测物的转动而位移的测量端子；检出上述测量端子的位移，输出测量数据的测头；处理上述测量数据，算出上述被测物的真圆度的处理控制部，上述处理控制部，对由于上述被测物的圆形截面的中心与上述载物台的转动中心的差、即偏心而使上述被测物的表面与上述测量端子的接触位置在上述第1平面内发生的偏移进行修正，算出上述被测物的真圆度，其特征在于上述处理控制部，算出由于偏心而使上述被测物的表面与上述测量端子的接触位置在垂直于上述第1平面的方向上的偏移，对由于算出的上述第1平面的垂直方向的偏移而使上述被测物的表面与上述测量端子的接触位置在上述第1平面内的偏移进行修正，算出上述被测物的真圆度。
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