[发明专利]微动测量

摘要

一种微动测量装置具有第一个元件，例如探针尖端或平板，被连接到将被测量其移动的测试体(107)。第二个元件(104)位于邻近所述第一个元件的位置，来在它们之间形成间隙(108)。因为所述测试体和所述第一个元件逐渐远离所述测量元件，所以增加了所述间隙的大小，所述第二个元件重复地向前移动，来将所述间隙恢复到其原来大小。所述测量元件(104)的这些重复的量子化的微小移动被计算，并且被用来提供所述测试体(107)已经移动的距离的指示。在另外的实施方式中，所述第一个元件可以逐渐朝着所述第二个元件移动，同时后者重复地远离。

主权项

1.一种微动装置，其包括：(a)第一个可移动元件；(b)第二个可移动元件，其通过在其上施加操作电压的间隙与所述第一个可移动元件分离；(c)激励器，当所述装置处在第一个状态时，所述激励器使所述第二个元件朝着或远离所述第一个元件移动；(d)固定装置，当所述装置处在第二个状态时，所述固定装置固定所述第二个元件的位置；(e)控制器，其检测流过所述间隙的电流，当所述电流达到第一个阈值时，所述控制器自动地将所述装置从所述第一个状态转换到所述第二个状态，并且当所述电流达到第二个阈值时，从所述第二个状态转换回到所述第一个状态；以及(f)计数器，其用于计状态变化的次数。