[发明专利]具有带封闭件的罩的微机械部件有效
| 申请号： | 200680047489.1 | 申请日： | 2006-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101331079A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | V·施米茨;A·格罗塞 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明从一种具有衬底、腔(10)和构成腔的边界的罩的微机械部件出发。所述罩具有至所述腔(10)的入口(160，161，162)。本发明的核心在于，所述罩具有用于封闭所述入口(160，161，162)的膜片(2b)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 封闭 微机 部件 | ||
【主权项】：
1.微机械部件，其具有衬底、腔(10)和构成该腔(10)边界的罩，其中所述罩具有至所述腔(10)的入口(160，161，162)，其特征在于，所述罩具有用于封闭所述入口(160，161，162)的膜片(2b)。
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