[发明专利]放射线检测器无效
申请号: | 200680047738.7 | 申请日: | 2006-04-04 |
公开(公告)号: | CN101331408A | 公开(公告)日: | 2008-12-24 |
发明(设计)人: | 户波宽道;大井淳一 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | G01T1/12 | 分类号: | G01T1/12;H01J31/49;H04N5/32;H01L27/14;H01L31/09 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明可避免雪崩倍增时的局部针孔缺陷部的问题。在将阳极与阴极组装为光接收元件之前,利用具有预先准备好的检查用场发射阵列的缺陷位置指定用真空容器来指定针孔缺陷的位置,如果在将阳极与阴极组装为实际的光接收元件时阴极是场发射阵列,则阳极与阴极被组装成使对应于该针孔缺陷的位置的场发射芯片不执行向作为实际的检测器的场发射阵列放出电子束的操作。 | ||
搜索关键词: | 放射线 检测器 | ||
【主权项】:
1.一种放射线检测器,包括对放射线进行光转换的闪烁体阵列和光接收元件;所述光接收元件包括:真空外围器,设置在该闪烁体阵列的放射线射入方向的相反面上,且真空密封;透明电极,设置在该真空外围器内;雪崩倍增膜,形成在该透明电极上,由阻挡层夹着且由非晶硒形成;以及场发射阵列,与该雪崩倍增膜相向地设置,且具有多个场发射芯片,所述放射线检测器的特征在于:当所述雪崩倍增膜上存在缺陷部位时,使与该缺陷部位相向的位置上的所述场发射芯片不执行操作。
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