[发明专利]基于信息可信度的增进的状态估计有效
| 申请号： | 200680048253.X | 申请日： | 2006-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101341449A | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | J·王;Q·何 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | G05B13/02 | 分类号： | G05B13/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于执行用来加工半导体晶圆片的适应状态估计工艺的方法、器件及系统。使用加工控制器(305)与加工工具(processingtool)(310)来控制第一工件的加工。获取与该第一工件的加工有关的制造数据。获取与该制造数据有关的状态数据。该状态数据包含与该制造数据的来源有关的数据。基于该状态数据与该制造数据，确定加工控制器(305)或加工工具(310)的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 信息 可信度 增进 状态 估计 | ||
【主权项】：
1、一种方法，包括：使用加工控制器(305)与加工工具(310)，控制第一工件的加工；获取与该第一工件的所述加工有关的制造数据；获取与所述制造数据有关的状态数据，所述状态数据包括与所述制造数据的来源有关的数据；以及基于所述状态数据和所述制造数据，确定该加工控制器(305)和所述加工工具(310)中的至少一个的状态。
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