[发明专利]MEMS谐振器及其制造方法，以及MEMS振荡器无效
| 申请号： | 200680048256.3 | 申请日： | 2006-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101395795A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·T·M·范贝克;巴尔特·范费尔岑 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 源;张天舒 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS谐振器，其包括第一电极和包括第二电极的可移动元件(48)，可移动元件(48)至少朝向第一电极是可移动的，第一电极和可移动元件(48)被具有侧壁的间隔(46，47)分开。根据本发明MEMS谐振器的特征在于在间隔(46，47)的至少一个侧壁上提供了电介质层(60)。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 及其 制造 方法 以及 振荡器 | ||
【主权项】：
1. 一种MEMS谐振器，其包括第一电极和包括第二电极的可移动元件(48)，可移动元件(48)至少朝向第一电极是可移动的，第一电极和可移动元件(48)被具有侧壁的间隔(46，47)分开，其特征在于在间隔(46，47)的至少一个侧壁上提供了电介质层(60)。
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