[发明专利]MEMS谐振器、制造这种谐振器的方法以及MEMS振荡器无效
| 申请号： | 200680048616.X | 申请日： | 2006-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101346879A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·T·M·范贝克;汉斯－彼得·勒布尔;弗里德里克·W·M·范赫尔门特 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈源;张天舒 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS谐振器，其包括可移动元件(48)，所述可移动元件(48)包括具有第一杨氏模量和第一杨氏模量的第一温度系数的第一部分(A)，所述可移动元件(48)还包括具有第二杨氏模量和第二杨氏模量的第二温度系数的第二部分(B)，第二温度系数的符号与第一温度系数的符号至少在该MEMS谐振器的工作条件下是相反的，第一部分(A)的横截面积和第二部分(B)的横截面积是这样的：第一部分(A)的杨氏模量的绝对温度系数与第一部分(A)的横截面积的乘积对第二部分(B)的杨氏模量的绝对温度系数与第二部分(B)的横截面积的乘积的偏离不超过20％，横截面积是局部垂直于可移动元件(48)测得的。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 制造 这种 方法 以及 振荡器 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS谐振器，其包括可移动元件(48)，所述可移动元件(48)包括具有第一杨氏模量和第一杨氏模量的第一温度系数的第一部分(A)，所述可移动元件(48)还包括具有第二杨氏模量和第二杨氏模量的第二温度系数的第二部分(B)，第二温度系数的符号与第一温度系数的符号至少在该MEMS谐振器的工作条件下是相反的，第一部分(A)的横截面积和第二部分(B)的横截面积是这样的：第一部分(A)的杨氏模量的绝对温度系数与第一部分(A)的横截面积的乘积对第二部分(B)的杨氏模量的绝对温度系数与第二部分(B)的横截面积的乘积的偏离不超过20％，横截面积是局部垂直于可移动元件(48)测得的。
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