[发明专利]根据图像分析进行缺陷检查的缺陷检查装置

摘要

本发明的缺陷检查装置取得检查对象的彩色图像信号。基于构成该彩色图像信号的多个信号成分，获得多个分析图像。对该多个分析图像的每一个图像进行检查对象的缺陷检测。通过对每个该分析图像检测到的候选缺陷检测差异，判定在检查对象的连续的缺陷处是否存在多个缺陷。

主权项

1、一种缺陷检查装置，其特征在于，包括：照明部，对检查对象进行照明；图像取得部，取得所述检查对象的彩色图像信号；以及缺陷检测部，基于所述图像取得部取得的所述彩色图像信号，检测所述检查对象的缺陷，所述缺陷检测部包括：成分提取部，基于构成所述彩色图像信号的多个信号成分，获得多个分析图像；检测部，对多个所述分析图像的每一个进行所述检查对象的缺陷检测，并对每一个所述分析图像检测候选缺陷；以及判定部，通过在多个所述分析图像之间判定所述候选缺陷的同一性，判定在所述检查对象的缺陷处是否存在多个缺陷。