[发明专利]去除微粒的方法和设备无效
| 申请号： | 200680049954.5 | 申请日： | 2006-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101351281A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·M·弗里尔;约翰·M·德拉里奥斯;卡特里娜·米哈利钦科;迈克尔·拉夫金;米哈伊尔·科罗利克;弗里茨·C·雷德克 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 方法和系统，用于清洁基片特征的表面，该表面上具有颗粒物质，具有夹带在其中的耦合元件的射流撞击该表面。将足够的拖曳力传递到该耦合元件以使其关于该液体移动并且导致该颗粒物质相对于该基片移动。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 微粒 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洁基片表面的方法，该表面上具有颗粒物质，所述方法包括：使用其中夹带有耦合元件的液体撞击所述表面；以及向所述耦合元件传递足够的拖曳以使其在所述液体内移动，并且向所述颗粒物质传递一定量的所述拖曳，所述量是足以使所述颗粒物质相对于所述基片移动的量。
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