[发明专利]低成本高压传感器无效
| 申请号： | 200680050394.5 | 申请日： | 2006-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101356426A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | R·奥布迪;J·普拉奇克 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;魏军 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 压力感测装置包括金属薄盘(19)，其具有陶瓷材料层(25)和形成于其上的压阻元件(27)。盘(19)的表面结合到由低成本金属构成的压力孔基板(7)上的膜组件(13)。结合工艺在低温下进行(＜700℃)，从而膜组件(13)和压力孔(7)不需要抗高温耐腐蚀，并由此由较便宜材料形成。由于使用了较少材料、使用了较便宜材料、且制造较简单，因此本发明装置提供了一种常规高压传感器的较低成本的可选方式。相比常规高压传感器，本发明的装置还更加可靠并显示出更高的热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 低成本 高压 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力感测装置，其包括：a)压力孔，其具有上表面和基板部分；b)可弹性变形的压敏膜组件，其具有上表面和下表面以及中央压敏膜；该膜组件的下表面附接到压力孔的上表面；c)基本平坦的盘，其具有上表面和下表面；该盘的下表面经由结合材料层结合到该膜组件的上表面；d)在该盘的上表面上的陶瓷材料层；以及e)在该陶瓷材料层上的多个压阻元件。
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