[发明专利]调节探针取向的装置和方法无效
| 申请号： | 200680050610.6 | 申请日： | 2006-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101506671A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | B·N·埃尔德里奇;E·D·霍博斯;G·L·马修;M·S·欣德;A·H·斯洛克姆 | 申请（专利权）人： | 佛姆法克特股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 马 洪 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 可以相对于探针卡组件的元件调节探针卡组件的探针，该元件可以是探针卡组件的这样一个元件，它能够使探针卡组件更容易地安装到测试装置上。然后，探针卡组件可以被安装在测试装置中，并且可以相对于测试装置(比如测试装置的结构部分或连接到测试装置的结构元件)来调节探针卡组件的取向。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 探针 取向 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种测试装置，包括：包括多个探针的探针卡组件，这些探针被配置成接触待测电子器件；第一调节装置，用于选择性地调节所述探针相对于所述探针卡组件的基准元件的取向；连接装置，用于将所述探针卡组件连接到测试站；以及第二调节装置，用于选择性地调节所述探针卡组件相对于所述测试站的取向。
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