[发明专利]远程区域中的压力调节无效
申请号: | 200680050842.1 | 申请日: | 2006-11-08 |
公开(公告)号: | CN101356481A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | 阿里·沙吉;西达尔斯·P·那加尔卡蒂;G·希尔 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06;G05D16/20;H01L21/321 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 陈松涛;王英 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种压力控制系统,其通过控制流体流入和流出每个外壳来对一个或多个远程区域内的压力进行远程控制,每个远程区域分别经由导管连接至外壳。流体的压力是在每个外壳内测量的。根据测量的外壳内的压力和导管和区域的已知特性,计算每个区域内的估计体积。对于每个区域,操作每个外壳的入口比例阀和出口比例阀,以便根据压力设定点和估计压力来控制流体流入各个外壳的输入流率和流体从外壳流出的输出流率。 | ||
搜索关键词: | 远程 区域 中的 压力 调节 | ||
【主权项】:
1、一种用于对区域内的压力进行远程控制的系统,所述系统包括:压力传感器,其用于对可经由导管连接至所述区域并且远离所述区域的外壳内的压力进行测量;阀门系统,其用于调节流体流入和流出所述外壳并且调节流体经由所述导管流入所述区域中,所述阀门系统包括至少一个用于对流入所述外壳的流体的输入流率进行调节的入口比例阀、和至少一个用于对从所述外壳流出的流体的输出流率进行调节的出口比例阀;区域压力估计器,其用于根据所述压力传感器测量的压力和所述导管的已知特性来计算所述区域内的估计压力;以及控制器,其用于通过操作所述入口比例阀和所述出口比例阀来调节所述区域内的压力,以便根据所述区域压力估计器估计的压力和所述区域的压力设定点来控制所述输入流率和所述输出流率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于MKS仪器公司,未经MKS仪器公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200680050842.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体器件
- 下一篇:一种开口型双层纳米碳管分子级存储单元