[发明专利]使用化学气相沉积形成的气体储存容器衬里无效
| 申请号： | 200680050920.8 | 申请日： | 2006-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101506062A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·托里斯;劳伦斯·M·瓦格;约瑟夫·V·维尼斯基 | 申请（专利权）人： | 马西森三气公司 |
| 主分类号： | B65D85/84 | 分类号： | B65D85/84 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王 旭 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种涂覆气体储存容器的内部的方法，其中所述方法包括将化学气相前体供应到所述储存容器中；以及在所述容器的内表面上形成金属涂层，其中所述涂层由所述化学气相前体形成。而且，提供一种气体储存容器，所述气体储存容器包含具有内表面的气体储存罐，所述气体储存罐具有形成在所述储存罐的所述内表面上的衬里。所述衬里可以包含纯度为约99重量％以上的钨金属。另外，提供一种用于制备金属衬里的气体储存容器的系统，所述系统可以包含化学气相前体发生器，以及用于将所述前体输送到气体储存罐的前体注入组件。所述系统还可以包含用于将气体沉积产物从所述气体储存罐中移除的废气出口。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 化学 沉积 形成 气体 储存 容器 衬里 | ||
【主权项】：
1. 一种涂覆气体储存容器的方法，其中所述方法包括：将六氟化钨供应到所述气体储存容器的内部空间中；以及在暴露于所述储存容器的内部空间中的内表面上形成钨金属涂层，其中所述钨涂层由所述六氟化钨的分解而形成。
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