[发明专利]使用亚波长共振光栅滤波器的拉曼光谱仪系统和方法

摘要

披露了一种包括亚波长共振光栅滤波器(508)的拉曼光谱仪系统(600)以及一种具有集成的亚波长共振光栅滤波器的光电二极管。该共振光栅滤波器(608)包括衍射元件(104)阵列，该阵列具有比待滤波的辐射的波长小的周期性间隔且形成于波导层(110)上。可抑制特定波长的辐射的所述滤波器(608)可以置于拉曼样品和拉曼探测器(602)之间，从而滤除从样品弹性散射的辐射，同时透射其它波长。通过相对于入射在滤波器上的辐射而倾斜该滤波器(608)，可以选择该滤波器所抑制的波长。

主权项

1.一种拉曼系统(600)，包括：辐射源(602)；探测器(612)，布置成从所述辐射源(602)接收辐射；以及亚波长共振光栅滤波器(608)，布置于所述辐射源和所述探测器之间，其中所述亚波长共振光栅滤波器(608)包括波导层(110)以及包含衍射元件(104)阵列的图案化层(102)。