[发明专利]常开型压电元件驱动式金属隔膜控制阀

摘要

在高温环境下也能进行高精度的稳定流量控制，并可无需拆卸控制阀自身来调整加在压电元件上的压力。具体由下列构件构成：形成有阀室7a′和阀座7c的阀体7；设置在阀室7a′内，可落入或离开阀座7c的金属隔膜8；固定在阀体7侧的致动器壳体10；设置在致动器壳体10内，因电压的施加而向下方伸长，通过金属隔膜压塞12加压于金属隔膜8的压电元件13；在金属隔膜8向阀座7c坐落时吸收压电元件13的伸长，并可向阀座7c等施加预定压力的碟形弹簧机构14；在压电元件13上常时施加向上的压力，并可从外部调整加在压电元件13上的压力的预压机构21。

主权项

1.一种常开型压电元件驱动式金属隔膜控制阀，其特征在于，由下列部分构成：阀体(7)，在上方敞开的阀室(7a′)的底面上形成有阀座(7c)；金属隔膜(8)，在阀室(7a′)内将外周边缘部密封的状态下，与阀座(7c)对向设置，通过下压而坐落在阀座(7c)上，并在压紧力失却时靠其弹性力而离开阀座(7c)；隔膜压塞(12)，设置在金属隔膜(8)的上面侧；致动器壳体(10)，设置在阀室(7a′)的上方，其下端部固定在阀体(7)侧；压电元件(13)，设置在致动器壳体(10)内，因电压的施加而向下方伸长，通过隔膜压塞(12)触压金属隔膜(8)；碟形弹簧机构(14)，夹在隔膜压塞(12)与压电元件(13)之间，在金属隔膜(8)向阀座(7c)坐落时吸收压电元件(13)的伸长，并向由阀座(7c)和金属隔膜(8)的与阀座(7c)触接的部分构成的阀座部施加预定压力；以及预压机构(21)，设在压电元件(13)与碟形弹簧机构(14)之间及致动器壳体(10)的周围，常时对压电元件(13)施加向上的压力，可从外部调整加于压电元件(13)的压力。