[发明专利]温度推定方法及装置

摘要

本发明提供一种温度推定方法及装置。温度推定装置(50)具有：存储部，存储关于加热器(3)和工件(1)的热传导模型的参数；温度测量部，测量加热器(3)的温度；工件温度变化量推定部，根据加热器(3)的温度变化量、加热器温度变化量的临时推定值、和工件温度变化量的临时推定值，来推定工件温度变化量的真值，其中，加热器(3)的温度变化量是根据加热器(3)的温度而求得的，加热器温度变化量的临时推定值是基于热传导模型来推定加热器(3)的温度变化量而得到的值，工件温度变化量的临时推定值是基于热传导模型来推定工件(1)的温度变化量而得到的值；以及工件温度推定部，根据所推定的工件温度变化量的真值来推定工件温度的真值。

主权项

1.一种温度推定方法，其特征在于，具有：测量步骤，测量与推定对象之间具有热阻的温度可测量点的温度；温度变化量推定步骤，根据上述温度可测量点的温度变化量、温度可测量点的温度变化量临时推定值、和推定对象的温度变化量临时推定值，来推定上述推定对象的温度变化量的真值，其中，上述温度可测量点的温度变化量是根据上述温度可测量点的温度而求得的，温度可测量点的温度变化量临时推定值是基于关于上述温度可测量点和上述推定对象的热传导模型来推定上述温度可测量点的温度变化量而得到的值，推定对象的温度变化量临时推定值是基于上述热传导模型来推定上述推定对象的温度变化量而得到的值；以及温度推定步骤，根据在该温度变化量推定步骤中所推定的温度变化量的真值，来推定上述推定对象的温度的真值。