[发明专利]硅锭切割用浆料及用该浆料的硅锭切割方法有效
申请号: | 200680051648.5 | 申请日: | 2006-10-20 |
公开(公告)号: | CN101360592A | 公开(公告)日: | 2009-02-04 |
发明(设计)人: | 河崎贵文;三村诚一;西田博一;吉田育弘 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李帆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种硅锭切割用浆料及使用该浆料的硅锭切割方法,作为含有碱金属氢氧化物等碱性物质及磨粒、水的硅锭切削用浆料,使用作为相对所述浆料中除磨粒外的全部成分的质量的比例含有碱性物质2质量%~6质量%,含有甘油25质量%~55质量%的浆料。 | ||
搜索关键词: | 切割 浆料 方法 | ||
【主权项】:
1、硅锭切割用浆料,其含有磨粒、碱性物质及水,其特征在于,作为相对浆料中除磨粒之外的全部成分的质量比例,含有碱性物质2质量%~6质量%、甘油25质量%~55质量%。
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