[发明专利]处理膜的系统和方法以及薄膜有效
| 申请号： | 200680052322.4 | 申请日： | 2006-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101617069A | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | J·S·艾姆 | 申请（专利权）人： | 纽约市哥伦比亚大学理事会 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00;C30B21/04;C30B28/08;C30B19/00;C30B17/00;H01L21/00;H01L21/84;H01L21/20;H01L29/04;H01L31/036 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦 晨 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一些实施例中，提供了处理膜的一种方法，该方法包括：在膜中限定要被预结晶化的多个间隔开的区域，该膜位于基底上并能够通过激光诱导熔化；产生具有一定通量的激光束，选择该通量以在膜中形成固体和液体的混合物，并且在被照射的区域中，在整个膜厚度上，使该膜的一部分被熔化；相对于激光束定位该膜，以准备至少部分地预结晶化所述多个间隔开的区域中的第一区域；将该激光束沿着激光束光路引导到移动的至少部分反射的光学元件上，该移动的光学元件使该光束改变方向，以便用该光束沿着第一方向以第一速度扫描该第一区域的第一部分，其中选择该第一速度以便该光束照射并在第一区域的第一部分中形成固体和液体的混合物，其中所述第一区域的第一部分在冷却时形成晶粒，该晶粒在至少单独一个方向上具有占主导地位的相同的结晶取向；以及采用激光诱导熔化来结晶化该第一区域的至少第一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 系统 方法 以及 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种处理膜的方法，该方法包括：(a)在膜中限定要被预结晶化的多个间隔开的区域，该膜位于基底上并能够通过激光诱导熔化；(b)产生具有一定通量的激光束，选择该通量以在膜中形成固体和液体的混合物，并且，在被照射的区域中，在整个膜厚度上，使该膜的一部分被熔化；(c)相对于激光束定位该膜，以准备至少部分地预结晶化所述多个间隔开的区域中的第一区域；(d)将该激光束沿着激光束光路引导到移动的至少部分反射的光学元件上，该移动的光学元件使该光束改变方向，以便用该光束沿着第一方向以第一速度扫描该第一区域的第一部分，其中，选择该第一速度，使得该光束照射并在该第一区域的第一部分中形成固体和液体的混合物，其中，所述第一区域的第一部分在冷却时形成晶粒，该晶粒在至少单独一个方向上具有占主导地位的相同的结晶取向；以及(e)采用激光诱导熔化使该第一区域的至少第一部分结晶化。
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