[发明专利]晶体组合物、装置及其制备方法有效
| 申请号： | 200680053099.5 | 申请日： | 2006-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101379227A | 公开（公告）日： | 2009-03-04 |
| 发明（设计）人： | 约翰·T·莱曼;朴东熙;马克·P·德维利恩;迈尔斯·S·彼得森;弗雷德·沙里费;乔尔·R·希布什曼 | 申请（专利权）人： | 莫门蒂夫性能材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供包含具有多个晶粒的多晶金属氮化物的组合物，这些晶粒具有柱形结构并且具有一个或多个特性，如平均晶粒尺寸、倾斜角、杂质含量、孔隙率、密度以及金属在该金属氮化物中的原子分数。该金属氮化物通过包括下列步骤的方法制得：将至少一种III族金属导入腔室中；将含氮材料和卤化氢流入该腔室中，其中该含氮材料与III族金属在该腔室中起反应形成该金属氮化物。还提供了一种用于制备III族金属多晶金属氮化物的装置，其中III族金属作为原料进料通过原料进口导入该腔室中。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 组合 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，包含:具有多个晶粒的多晶金属氮化物，并且该晶粒具有柱形结构；以及下列特征中的一个或多个该晶粒的平均晶粒尺寸为10nm-1mm；该金属氮化物的杂质含量低于200ppm；该金属氮化物的孔隙率以体积分数计为0.1-30％；该金属氮化物的表观密度为相应金属氮化物理论密度值的70-99.8％；或者该金属氮化物中金属的原子分数为0.49-0.55。
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