[发明专利]减少MEMS微镜边缘衍射的方法

摘要

为了优化波长选择开关中的通带，减少了来自微镜边缘的光谱波束的衍射效应。可以用微镜相对衰减轴和切换轴两者的旋转以达到所需衰减来减少通带的衍射效应。可以通过在和使用同时绕切换轴和衰减轴旋转而相对于抖动轴抖动微镜来得到峰值耦合，所述抖动轴实质上与常数衰减的等高线相切。通过由绕切换轴和衰减轴的旋转组合，使信道微镜绕和抖动轴不正交的有效衰减轴旋转来衰减光谱信道的功率水平。

主权项

1. 一种光学设备，用于切换具有不同波长光谱信道的多信道光信号，包括：多个输入和输出端口，用于具有一个或多个所述光谱信道的光信号；光束扩束器和中继系统，适合于从一个或多个输入端口接收光信号，形成失真系统来把光信号转换成具有预定伸长束截面的光谱光束；波长分离器，用于在空间上把光谱光束分离成组分光谱信道；以及信道微镜阵列，将所述阵列的每个信道微镜设置为用于接收所述组分光谱信道之一，所述微镜绕切换轴y可旋转，来把一个光谱信道切换到所选择的输出端口；其中每个信道微镜绕衰减轴x可旋转，来改变所述的一个光谱信道和所选择的输出端口的耦合以控制在所述选择的端口上光谱信道的功率水平，其中衰减轴和切换轴不同，其中，将每个信道微镜配置为通过同时绕切换轴y和衰减轴x旋转而相对于抖动轴y’进行抖动，所述抖动轴y’实质上与常数衰减的等高线相切，其中抖动轴和有效衰减轴是非正交的，以及其中每个信道微镜配置为通过绕切换轴y和衰减轴x的旋转组合，相对于有效衰减轴x’旋转微镜来衰减功率水平，其中绕抖动轴y’和有效衰减轴x’旋转微镜减小了由于来自一个或多个微镜边缘的光谱光束衍射引起的设备通带非均匀衰减，其中所述边缘实质上和衰减轴平行。