[发明专利]测量材料层厚度的方法和装置有效
| 申请号： | 200680053923.7 | 申请日： | 2006-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101421583A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 乔维尼·克里斯蒂尼 | 申请（专利权）人： | S.A.朱塞佩克里斯蒂尼有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明描述了一种通过微波传感器(13)测量第一材料层的厚度的方法，所述方法包括：通过微波传感器(13)获得第一材料层的至少一个频率响应；为不同温度值(Tamb，T1，T2，T3)下的第二材料样本设置(30)微波传感器(13)，以获得参考数据(CD，X，Y，S)；利用参考数据(CD，X，Y，S)，作为第一材料电导率的函数来校准(31)微波传感器(13)；通过温度传感器(14)测量(32)第一材料层的温度(Tm)；根据频率响应确定(33)测量参数(F1_m，F2_m，Amin_m)；以及利用测量参数(F1_m，F2_m，Amin_m)来处理(33)参考数据(CD，X，Y，S)以获得第一材料层的厚度的测量值(Sm)。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 材料 厚度 方法 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种测量第一材料层的厚度的方法，该方法包括步骤：通过微波传感器(13)获得所述第一材料层的至少一个频率响应，并且其特征在于，还包括以下步骤：在不同温度值(Tamb，T1，T2，T3)下，为多个第二材料样本设置(30)所述微波传感器(13)，以便获得参考数据(CD，X，Y，S)；利用所述参考数据(CD，X，Y，S)将所述微波传感器(13)作为所述第一材料的导电率的函数进行校准(31)；通过温度传感器(14)测量(32)所述第一材料层的温度(Tm)；根据所述频率响应确定(33)所述第一材料层的测量参数(F1_m，F2_m，Amin_m)；以及利用所述测量参数(F1_m，F2_m，Amin_m)和所测得的温度(Tm)来处理(34)所述参考数据(CD，X，Y，S)，以获得所述第一材料层的所述厚度的测量值(Sm)。
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