[发明专利]感光性树脂组合物、以及使用其的感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷电路板的制造方法无效
申请号: | 200680054012.6 | 申请日: | 2006-04-04 |
公开(公告)号: | CN101405656A | 公开(公告)日: | 2009-04-08 |
发明(设计)人: | 熊木尚;宫坂昌宏 | 申请(专利权)人: | 日立化成工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/031 | 分类号: | G03F7/031;G03F7/027;G03F7/004 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 钟 晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种感光性树脂组合物,其含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C1)右述通式(1)所示的含叔氨基香豆素衍生物。式(1)中,R1和R2各自独立地表示烷基,R3~R7各自独立地表示也可以具有取代基的烷基、氢原子、三氟甲基、羧基、羧酸酯基、羟基或硫醇基,R1~R7也可以相互结合而形成环状结构。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 以及 使用 元件 图案 形成 方法 印刷 电路板 制造 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C1)下述通式(1)所示的含叔氨基香豆素衍生物,[化学式1]
式(1)中,R1和R2各自独立地表示碳原子数1~3的烷基,R3、R4、R5、R6和R7各自独立地表示也可以具有取代基的碳原子数1~3的烷基、氢原子、三氟甲基、羧基、羧酸酯基、羟基或硫醇基,R1、R2、R3、R4、R5、R6和R7也可以相互结合而形成环状结构。
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