[发明专利]平行板电极布置设备和方法有效
| 申请号： | 200680054221.0 | 申请日： | 2006-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN101416271A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 埃尔曼·沃尔尼克 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H01J49/40 | 分类号： | H01J49/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于沿轴线(Z)导引离子束的系统，该系统包括：至少一个区段部分，该区段部分包括具有上侧平板条状电极(1u，2u，3u，4u和5u)和下侧平板条状电极(1d，2d，3d，4d和5d)，这些电极用于产生相对于包括射束轴线和位于至少一个区段部分的端部处的散射场边界的平面、沿平行方向基本上对称而沿垂直方向基本上不对称的至少一个电场。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 电极 布置 设备 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种系统，其用于沿大致连续的射束轴线导引离子束通过对所述离子束中的离子施加力的至少一个场，所述系统包括：至少一个区段部分，该区段部分包括具有上侧平板和下侧平板的大致平的板-多极，其中，所述力相对于包括射束轴线的平面、沿平行方向大致对称而沿垂直方向大致是非对称的，所述上侧平板和所述下侧平板中的每一块板均包括多个具有对应电势的第一电极条，所述第一电极条能够产生所述至少一个场的至少一部分，其中，散射场的边界位于所述至少一个区段部分的每一端处，并且，所述第一电极条为大致薄而扁平状的。
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