[发明专利]容性体声波盘状陀螺仪有效
| 申请号： | 200680054450.2 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN101553734A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 法罗哈·阿亚泽;胡尔·乔哈里 | 申请（专利权）人： | 佐治亚科技研究公司 |
| 主分类号： | G01P3/00 | 分类号： | G01P3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李春晖;杨红梅 |
| 地址： | 美国佐*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在(100)和(111)硅基底上实现的容性体声波x，y以及z轴陀螺仪。示例的陀螺仪包括处理基底，由所述处理基底支撑的体声波谐振器元件，以及围绕所述谐振器元件且与所述谐振器元件分开非常小的容性间隙的多个电极。所述电极能够激励和检测谐振器中的至少两个简并的体声波谐振模。本发明的优点包括：减小的尺寸；较高的Q，这改善了噪声和偏置稳定性；较大的带宽以及改善的抗冲击性。此外，能够在大气压或接近大气压下保持高的Q，这降低了陀螺仪的晶片级封装的成本和复杂性。 | ||
| 搜索关键词： | 容性体 声波 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种陀螺仪设备，包括：体声波谐振器元件；以及多个电极，所述电极能够激励和检测所述体声波谐振器元件中的至少两个简并的体声波谐振模。
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