[发明专利]气体供给单元和气体供给系统有效
| 申请号： | 200680054549.2 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101438091A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 守谷修司;长冈秀树;冈部庸之;板藤宽;土居广树;伊藤稔 | 申请（专利权）人： | 喜开理株式会社;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | F16L41/02 | 分类号： | F16L41/02;F16K27/00;F17D5/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张建涛;车 文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12-17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2-6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供给 单元 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种气体供给单元，该气体供给单元要安装在工作气体输送管路上，并且包括多个流体控制装置，所述多个流体控制装置通过流路模块彼此连通，以控制工作气体，所述气体供给单元包括：第一流路模块，该第一流路模块具有侧表面，包括在所述流体控制装置中的第一流体控制装置连接在上述侧表面上；和第二流路模块，该第二流路模块具有侧表面，包括在所述流体控制装置中的第二流体控制装置连接在上述侧表面上，其中在与所述工作气体的输送方向垂直的方向上，所述第一流路模块和所述第二流路模块彼此堆叠，并且，所述第一流体控制装置和所述第二流体控制装置布置在所述流体控制装置和安装表面之间，所述流体控制装置安装在所述工作气体输送管路上，所述单元要安装在所述安装表面上。
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