[发明专利]防止射频等离子体处理中的不稳定性的方法和装置无效
| 申请号： | 200680056240.7 | 申请日： | 2006-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101529551A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | M·基西内夫斯基;I·贝斯特亚克;A·R·米尔纳 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李 玲 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于控制电源的方法和装置，用于防止由于在从1MHz和1MHz以上的频率下工作的RF等离子体处理系统中的动态负载引起的不稳定性。该装置包括：功率源(32)；从该源(32)接收功率的功率变换器(72)，该功率变换器(72)提供通过改变输入电压或开关频率中的至少一个控制的恒定输出功率；以及从功率变换器接收恒定功率的RF发生器(75)。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 射频 等离子体 处理 中的 不稳定性 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种RF等离子体发生器，包括：功率源；从所述源接收功率的功率变换器，所述功率变换器提供通过改变输入电压或开关频率中的至少一个控制的恒定输出功率；以及从所述功率变换器接收恒定功率的RF发生器。
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