[发明专利]定位工具用X-Y定位的校准方法及具有这种定位工具的装置有效
| 申请号： | 200680056754.2 | 申请日： | 2006-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101568891A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 安德烈斯·马特尔;尔邦·恩斯特;约翰尼斯·舒斯特 | 申请（专利权）人： | K&S芯片键合设备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/401 | 分类号： | G05B19/401 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种定位工具用X-Y定位的校准方法及具有这种定位工具的装置。本发明涉及一种定位工具(1)用x-y定位的校准方法、一种将组件(3)定位在基板(4)上的方法、一种具有定位工具(1)及图像辨识系统(2)的装置、以及一种校准以图像辨识系统(2)为基础的定位工具(1)用x-y定位的校准装置(100)。定位工具(1)的x-y定位是以图像辨识系统(2)的坐标为准被校准，在这个校准模式中，步骤(i)是将定位工具(1)定位在一个网点(24)上，步骤(ii)是检测网点(24)的工具坐标，步骤(iii)是以图像辨识系统(2)检测一个设置在相对于定位工具(1)的一个规定位置的基准记号(14)，步骤(iv)是以图像辨识系统(2)为准求出基准记号(14)的坐标，步骤(v)是对相同或其它网点(24)重复进行步骤(i)至步骤(iv)，步骤(vi)是使网点(24)的工具坐标及在图像辨识系统(2)中的坐标彼此产生关联及/或彼此平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 工具 校准 方法 具有 这种 装置 | ||
【主权项】：
1.一种定位工具(1)用x-y定位的校准方法，定位工具(1)可以定位在一个工作面(23)的上方，并在定位工具(1)的控制系统内设有工具坐标，同时定位工具(1)借助一个图像辨识系统(2)被引导，这个图像辨识系统(2)在一个运转模式中的作用是检测工作面(23)上的目标记号(6)，这种方法的特征为：以图像辨识系统的坐标为准校准定位工具(1)的x-y定位，其校准模式具有以下的步骤：(i)将定位工具(1)定位在一个网点(24)上；(ii)检测网点(24)的工具坐标；(iii)以图像辨识系统(2)检测一个设置在相对于定位工具(1)的一个规定位置的基准记号(14)；(iv)以图像辨识系统(2)为准求出基准记号(14)的坐标；(v)对相同或其它网点(24)重复进行步骤(i)至步骤(iv)；(vi)使网点(24)的工具坐标及在图像辨识系统(2)中的坐标彼此产生关联及/或彼此平衡。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于K&S芯片键合设备有限公司，未经K&S芯片键合设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680056754.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
