[发明专利]抗蚀剂剥离剂组合物

摘要

本发明涉及一种抗蚀剂剥离剂组合物，尤其涉及一种包含选自具有双氧键的环状化合物、乙二醇类化合物及碳酸类化合物中的化合物的抗蚀剂剥离剂组合物。本发明的抗蚀剂剥离剂组合物可进一步包含内酯类化合物、胺或有机酸、氧化剂或其混合物。本发明的抗蚀剂剥离剂组合物，可用于去除在电路或显示元件金属布线的图形化中所使用的抗蚀剂，其对图形化金属膜上所残留的抗蚀剂具有优秀的剥离效果，并在高温下，其因挥发而引起的成分变化及药液疲劳度极小，且能将对图形化金属膜的腐蚀降到最低。

主权项

1.一种抗蚀剂剥离剂组合物，其包括，选自由以下化学式1表示的化合物；由化学式2、化学式3或化学式4表示的环状化合物；由化学式5表示的乙二醇类化合物中的至少一种化合物，[化学式1]               [化学式2][化学式3]               [化学式4][化学式5]上述化学式中，R，R′，R″，R分别表示氢、羟基、C1-C10的烷基、C1-C10的链烷醇基，或者C1-C10的乙酸烷基酯(alkyl acetate group)；R₃表示羟基、C1-C10的烷基、或者C1-C10的乙酸烷基酯(alkyl acetate group)，其中，n表示1-12的整数。