[发明专利]背照明图像传感装置及其制造方法有效

申请号：	200710001220.6	申请日：	2007-01-04
公开（公告）号：	CN101154674A	公开（公告）日：	2008-04-02
发明（设计）人：	许慈轩;杨敦年	申请（专利权）人：	台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号：	H01L27/146	分类号：	H01L27/146;H01L31/102;H01L21/822;H01L21/265;H01L31/18
代理公司：	隆天国际知识产权代理有限公司	代理人：	郭晓东
地址：	中国台***	国省代码：	中国台湾;71
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摘要：	本发明提供了一种背照明图像传感装置，包括：基底；第一掺杂区，位于该基底内；以及第二掺杂区，位于该基底内并位于该第一掺杂区上方，其中该第一掺杂区较佳地深达该基底厚度的50％以上。本发明还提供了一种背照明图像传感装置的制造方法，包括：制备基底；对该基底进行第一离子注入，以在该基底内形成第一掺杂区；在该基底上形成多晶硅层；以及对该基底进行第二离子注入，以在该第一掺杂区上方形成第二掺杂区，其中该第一掺杂区深达该基底厚度的50％。本发明能够改善传感装置的感光特性，且不会对其中各组件的表现造成影响。
搜索关键词：	照明图像传感装置及其制造方法
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【主权项】：

1.一种背照明图像传感装置，其特征在于，包括：基底；第一掺杂区，位于该基底内；以及第二掺杂区，位于该基底内并位于该第一掺杂区上方；并且该第一掺杂区深达该基底厚度的50％以上。

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