[发明专利]适用于无旋、缝模涂敷法的光敏性树脂组合物有效
| 申请号： | 200710001223.X | 申请日： | 2007-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN101013263A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 岛仓纯一;高桥修一;张勇 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料（日本）株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/008;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种适用于无旋、缝模涂敷法的涂敷膜厚均匀性高的光敏性树脂组合物。光敏性树脂组合物，其特征在于包括碱可溶性酚醛树脂、感光剂、和脂肪酸与低级醇的酯，以及采用该组合物制造抗蚀剂基板的方法，以及由此制得的抗蚀剂基板。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 缝模涂敷法 光敏 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光敏性树脂组合物，其特征在于含有碱可溶性酚醛树脂、感光剂和碳原子数为10-20的脂肪酸与碳原子数为1-5的醇的酯。
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