[发明专利]气体分离型喷头有效
申请号: | 200710001276.1 | 申请日: | 2007-01-11 |
公开(公告)号: | CN101003033A | 公开(公告)日: | 2007-07-25 |
发明(设计)人: | 金京洙;裵根鹤;金昊植 | 申请(专利权)人: | 韩商奥拓股份有限公司 |
主分类号: | B05B7/04 | 分类号: | B05B7/04;C23C16/00 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 黄剑飞;方挺 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了一种用于有效能源供给的气体分离型喷头。该气体分离型喷头包括:气体供应模块,一第一气体和一第二气体分离地提供到该模块;气体分离模块,所提供的第一和第二气体在该模块中分别分散;气体喷射模块,该模块是一种具有多个孔的多空心阴极,并且其中分别分散的第一和第二气体在该孔中被电离以便被共同地分散。 | ||
搜索关键词: | 气体 分离 喷头 | ||
【主权项】:
1.一种气体分离型喷头,包括:气体供应模块,一第一气体和一第二气体分离地提供到该模块;气体分离模块,所提供的第一和第二气体在该模块中分别分散;以及,气体喷射模块,该模块包括多个孔,并且所述分别分散的第一和第二气体在该模块中共同地喷射通过所述孔,其中所述气体分离模块的下部具有可变的高度,所述第一气体和第二气体通过所述气体分离模块的所述下部排放到所述气体喷射模块。
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