[发明专利]固体摄像装置及其制造方法无效
| 申请号： | 200710001642.3 | 申请日： | 2007-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN101009295A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 栗山俊宽;友泽淳 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L27/148 | 分类号： | H01L27/148;H01L21/82 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种固体摄像装置，其可以防止由斜光造成的混色，并且可以减少存在于各像素间的受光灵敏度的偏差。在由半导体基板(11)规定的受光区域中形成：等间隔地以矩阵状形成的多个受光元件(15)、与多个受光元件(15)对应地设于半导体基板(11)上并读出各受光元件(15)所产生的电荷的多个读出电极(13)、将多个读出电极(13)覆盖并且在各受光元件(15)上具有开口区域的遮光膜(17)、设于各受光元件(15)上的开口区域中的第一光波导路(8)、设于遮光膜上的第二光波导路(10)。第二光波导路(10)被制成点、条纹或格子状。 | ||
| 搜索关键词： | 固体 摄像 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种固体摄像装置，是具有排列于基板上的多个受光部的固体摄像装置，其具备：形成于所述受光部的上方的第一光波导路、形成于所述受光部间的区域的上方的第二光波导路。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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