[发明专利]多位可存储非易失性存储器件无效
申请号: | 200710001739.4 | 申请日: | 2007-01-16 |
公开(公告)号: | CN101005095A | 公开(公告)日: | 2007-07-25 |
发明(设计)人: | 金是垠;白昇宰;霍宗亮;吕寅硕;林昇炫;韩祯希 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/788;H01L29/51;H01L27/115 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 林宇清;谢丽娜 |
地址: | 韩国京畿道水*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种非易失性存储器件,包括:在源区和漏区之间限定的沟道区;在沟道区上设置以存储电荷的电荷存储膜;以及在沟道区和电荷存储膜之间插入的隧道绝缘膜,以隧穿电荷,该隧道绝缘膜具有量子密闭膜。 | ||
搜索关键词: | 多位可 存储 非易失性存储器 | ||
【主权项】:
1.一种非易失性存储器件,包括:在源区和漏区之间限定的沟道区;在沟道区上设置以存储电荷的电荷存储膜;以及在沟道区和电荷存储膜之间插入的隧道绝缘膜,以隧穿电荷,该隧道绝缘膜具有量子密闭膜。
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