[发明专利]输送系统无效
| 申请号： | 200710001751.5 | 申请日： | 2007-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN101003331A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | 深泽博;田原良祐 | 申请（专利权）人： | 村田机械株式会社 |
| 主分类号： | B65G59/00 | 分类号： | B65G59/00;B65G57/00;B65G43/00;B65G49/05;G02F1/1333;H01L21/677 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 液晶基板等的工序内输送路上设置使载放了基板的托盘一个一个输送的单个输送、和将托盘层叠并输送的层叠输送的两者自由变换的区间，并对应于处理装置(4)侧的状况对单个输送和层叠输送进行切换。在工厂的调试时等的处理量少的时期进行单个输送，在处理量增大但工序不稳定的时期进行层叠输送，进行大量输送并增加处理装置的缓冲。当工序稳定时切换为高速单个输送，在各处理装置需要时供给需要的基板。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 系统 | ||
【主权项】：
1.一种输送系统，其特征在于，具备：分段散取装置，对载放工件的托盘进行分段散取；分段堆装装置，对上述托盘进行层叠；传送带，在上述分段散取装置和分段堆装装置之间输送托盘，并向处理装置供给工件；控制单元，通过对从上述分段散取装置向传送带供给的托盘的层叠个数进行变更，来变更输送方式。
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