[发明专利]抛光组合物和抛光方法无效
| 申请号： | 200710001877.2 | 申请日： | 2007-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN101235253A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 山田修平 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09G1/14;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 日本国爱知县清须*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种抛光组合物，包含聚氧乙烯失水山梨醇单脂肪酸酯、二氧化硅、水溶性纤维素、碱性化合物和水。所述抛光组合物中聚氧乙烯失水山梨醇单脂肪酸酯的含量小于0.0025％(质量)。所述抛光剂适用于硅片的最终抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 组合 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种抛光组合物，其特征在于，所述抛光组合物包括：聚氧乙烯失水山梨醇单脂肪酸酯；二氧化硅；水溶性纤维素；碱性化合物；以及水，其中所述抛光组合物中所述聚氧乙烯失水山梨醇单脂肪酸酯的含量低于0.0025％(质量)。
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