[发明专利]利用异质界面两侧电学性能变化识别界面特性的方法有效
| 申请号： | 200710002678.3 | 申请日： | 2007-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN101231317A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 连贵君;熊光成 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用异质界面两侧电学性能变化识别界面特性的方法，属于半导体器件技术领域。该方法包括：(1)在异质界面的上层材料和下层材料上分别设置若干个电接点；(2)分别在异质界面的上层材料或下层材料上通电流；(3)通过测量上层材料和下层材料的随电流改变的电压变化，分别得到异质界面上层材料和下层材料的电势分布；(4)根据异质界面上层材料和下层材料的电势分布，确定界面的电学特性。利用本发明提供的方法可以制备相应的实验仪器，用于异质界面(包括多种不同材料以及由半导体材料组成的微电子器件异质界面)研究，也可以利用本发明设计新器件。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 界面 两侧 电学 性能 变化 识别 特性 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用异质界面两侧电学性能变化识别界面特性的方法，其步骤包括：(1)在异质界面的上层材料和下层材料上分别设置若干个电接点；(2)分别在异质界面的上层材料或下层材料上通电流；(3)通过测量上层材料和下层材料的随电流改变的电压变化，分别得到异质界面上层材料和下层材料的电势分布；(4)根据异质界面上层材料和下层材料的电势分布，确定界面的电学特性。
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