[发明专利]双栅极非挥发性储存单元、阵列及制造方法与操作方法有效
申请号: | 200710002846.9 | 申请日: | 2007-02-08 |
公开(公告)号: | CN101022134A | 公开(公告)日: | 2007-08-22 |
发明(设计)人: | 何家骅;吕函庭;施彦豪;赖二琨;谢光宇 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/792 | 分类号: | H01L29/792;H01L29/423;H01L27/115;H01L21/336;H01L21/28;H01L21/8247;G11C16/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种储存单元及包括多个此等储存单元的阵列,以及此等储存单元的制造方法及此等储存单元的操作方法,其中储存单元包括半导体基底,其具有被通道区域分离的源极区与漏极区;第一栅极,其设置于电荷捕捉结构上方并邻近源极区;以及第二栅极,其设置于电荷捕捉结构上方并邻近漏极区,其中第一栅极与第二栅极被第一纳米空间分离。 | ||
搜索关键词: | 栅极 挥发性 储存 单元 阵列 制造 方法 操作方法 | ||
【主权项】:
1.一种储存单元,其特征在于,包括:一半导体基底,其具有被一通道区域分离的一源极区与一漏极区;一电荷捕捉结构,其设置于所述半导体基底的所述通道区域上方;一第一栅极,其设置于所述电荷捕捉结构上方并邻近所述源极区;以及一第二栅极,其设置于所述电荷捕捉结构上方并邻近所述漏极区;其中所述第一栅极与所述第二栅极被一第一纳米空间分离。
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