[发明专利]三维形状测量方法

摘要

本发明涉及三维形状测量方法，当检查对象物不处于正常检查模式的场合，在有裸板信息的板时通过数据库检索裸板信息、在由没有裸板信息的供应厂商供应的板的场合通过裸板学习来测量板的三维形状。本发明的三维形状测量方法包括以下步骤：测量第一照明源(41a)的亮度、测量将相位变换成高度的因数、确认测量作业是否为正常检查模式、测量与正常检查模式相应的板(62)的三维形状、确认有没有关于板的裸板信息、在没有裸板信息的情况下实施裸板学习、当裸板信息存在或产生裸板学习信息时测量与学习检查模式相应的板的目标对象物的三维形状、使用三维形状信息来分析板是否正常。由此，更易于实施板的三维形状测量作业。

主权项

1.三维形状测量方法，包括下述步骤：由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量第一照明源的亮度；当所述第一照明源的亮度测量结束时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量将相位变换为高度的因数；当所述第一照明源的亮度和将所述相位变换为高度的因数被测量时，由中央控制部确认测量作业是否为正常检查模式；当在确认是否为所述正常检查模式的步骤中确认为正常检查模式时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量基于正常检查模式的板的目标对象物的三维形状；当在确认是否为所述正常检查模式的步骤中确认为不是正常检查模式时，由中央控制部检索数据库以确认是否存在相对于板的裸板信息；在确认是否存在所述裸板信息的步骤中，当不存在裸板信息时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，实施裸板学习；在确认是否存在所述裸板信息的步骤中，当存在裸板信息时或者当实施裸板学习的步骤产生裸板学习信息时，由中央控制部控制模块控制部和图像获取部，以测量基于学习检查模式的板的三维形状；当在测量基于所述正常检查模式的板的三维形状的步骤中和在测量基于所述学习检查模式的板的目标对象物的三维形状的步骤中板的目标对象物的三维形状被分别测量时，中央控制部利用所测量的三维形状信息分析板是否为正常。