[发明专利]使用气体分离喷头清洁腔室的装置

摘要

本发明提供一种使用气体分离型喷头来清洁腔室的装置。所述装置包括：气体供应模块，第一和第二气体通过气体供应模块被单独提供；气体分离模块，所述第一和第二气体通过气体分离模块被单独分散；和气体注入模块，其包括多个孔，所述被单独分散的第一和第二气体通常通过所述孔注入到所述腔室，其中所述第一和第二气体至少之一的气体包括电离的第一清洁气体，所述电离的第一清洁气体包括含有氟(F)成分的气体，且其中所述第一和第二气体至少之一的气体包括非电离的第二清洁气体，所述非电离的第二清洁气体包括基于氮氧的气体(N_xO_y，x和y为等于或大于1的整数)。

主权项

1.一种使用气体分离型喷头清洁腔室的装置，包括：气体供应模块，通过所述气体供应模块单独地提供第一和第二气体；气体分离模块，通过所述气体分离模块单独地分散所述第一和第二气体；以及包括多个孔的气体注入模块，所述被单独地分散的第一和第二气体都通过所述孔注入到所述腔室，其中所述第一和第二气体至少之一包括电离的第一清洁气体，所述电离的第一清洁气体包括含有氟(F)成分的气体，并且，所述第一和第二气体至少之一包括非电离的第二清洁气体，所述非电离的第二清洁气体包括基于氮氧的气体(NxOy，x和y为等于或大于1的整数)。