[发明专利]具有宏观检测的显影装置有效
申请号: | 200710003786.2 | 申请日: | 2007-01-24 |
公开(公告)号: | CN101004557A | 公开(公告)日: | 2007-07-25 |
发明(设计)人: | 黄胜凯;徐书扬;柯宗志;杨志清 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F7/16;G03F7/26;G01M11/02 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 潘培坤 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有宏观检测的显影装置,本发明的显影装置包括一宏观检测装置及一显影装置,该宏观检测装置与该显影装置相连接,并设置于该显影装置之前,该宏观检测装置先检测已涂布光致抗蚀剂的一基板,检测员观测该基板是否产生缺陷,若发现该基板产生缺陷时,则将该基板回收报废或重新涂布光致抗蚀剂,这样可减少测试新制造过程及新光致抗蚀剂时间的浪费,并且可以在显影前提前观察到基板质量是否异常,以降低产品报废率,进而降低成本并提高生产量。 | ||
搜索关键词: | 具有 宏观 检测 显影 装置 | ||
【主权项】:
1.一种具有宏观检测的显影装置,其包括:一宏观检测装置,其用于检测已涂布光致抗蚀剂的一基板是否产生缺陷;及一显影装置,其与该宏观检测装置相连接,以对未产生缺陷的该基板进行显影。
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