[发明专利]具有宏观检测的显影装置有效
| 申请号： | 200710003786.2 | 申请日： | 2007-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101004557A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | 黄胜凯;徐书扬;柯宗志;杨志清 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16;G03F7/26;G01M11/02 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种具有宏观检测的显影装置，本发明的显影装置包括一宏观检测装置及一显影装置，该宏观检测装置与该显影装置相连接，并设置于该显影装置之前，该宏观检测装置先检测已涂布光致抗蚀剂的一基板，检测员观测该基板是否产生缺陷，若发现该基板产生缺陷时，则将该基板回收报废或重新涂布光致抗蚀剂，这样可减少测试新制造过程及新光致抗蚀剂时间的浪费，并且可以在显影前提前观察到基板质量是否异常，以降低产品报废率，进而降低成本并提高生产量。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 宏观 检测 显影 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具有宏观检测的显影装置，其包括：一宏观检测装置，其用于检测已涂布光致抗蚀剂的一基板是否产生缺陷；及一显影装置，其与该宏观检测装置相连接，以对未产生缺陷的该基板进行显影。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友达光电股份有限公司，未经友达光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710003786.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电感绕线器的电感检测装置和控制方法
- 下一篇：一种烟雾探测集群式变压器
