[发明专利]用于存贮和输送光掩模的设备和方法无效
| 申请号： | 200710004452.7 | 申请日： | 2007-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101008791A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 埃米丽·伊丽沙白·加拉切尔;路易斯·M.·金特 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;B65D85/00;B65D81/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种存贮和输送光掩模的设备和方法。光掩模存贮容器具有流体密封壁、用于将光掩模移动到容器中和从容器中移出的开口和用于存贮流体的可密封入口。该方法包括通过开口将光掩模放置在存贮容器中，通过入口将存贮流体导入到容器中，封闭容器开口并密封存贮流体入口，其中存贮流体相对于光掩模基本上是惰性的。该方法还包括打开容器开口，并在从存贮容器中去除光掩模的同时，使用含乙醇气体接触光掩模表面，以便从光掩模表面上去除存贮流体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 存贮 输送 光掩模 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种存贮和输送光掩模的方法，包括：提供光掩模存贮容器，该存贮容器具有流体密封壁、用于将光掩模移动到容器中和从容器中移出的开口、以及用于存贮流体的可密封入口；通过开口将光掩模放置在存贮容器中；通过入口将存贮流体导入到容器中；关闭容器开口；以及密封存贮流体入口，其中存贮流体相对于光掩模基本上是惰性的。
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