[发明专利]显示装置的制造方法

摘要

本发明提供一种显示装置的制造方法，在具有反射区域和透射区域的液晶显示装置中，抑制工序数增加地制造反射电极和透射电极。对具有透射区域和反射区域的像素，连续层叠形成反射电极的金属膜和形成透射电极的透明导电膜。将抗蚀剂膜曝光显影，形成第1图案，同时蚀刻金属层和透明导电膜。然后通过灰化在抗蚀剂膜形成第2图案，蚀刻金属层。另外，利用有机树脂层作为形成接触孔的掩模。

主权项

1.一种具有被配置成矩阵状的像素的显示装置的制造方法，包括：在基板上形成源极电极的步骤；在上述源极电极之上层叠第1绝缘膜和第2绝缘膜的步骤；在上述第1绝缘膜和第2绝缘膜中形成接触孔的步骤；在上述第1绝缘膜和第2绝缘膜之上层叠第1导电膜和第2导电膜，并通过上述接触孔连接上述源极电极和上述第1导电膜的步骤；使用抗蚀剂膜的第1图案蚀刻第1导电膜和第2导电膜的步骤；除去上述抗蚀剂膜的一部分，形成第2图案的步骤；以及使用上述第2图案蚀刻上述第2导电膜的步骤。